芯梦半导体取得晶圆处理设备专利，减少驱动组件被腐蚀的风险
创始人
2025-07-11 14:09:45
0次
金融界2025年7月11日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯梦半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆处理设备”的专利，授权公告号CN223092825U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种晶圆处理设备，包括：工艺腔；安装腔，与工艺腔分隔设置；传输机构，包括驱动组件、夹取组件以及连接杆，驱动组件安装在安装腔内，夹取组件位于工艺腔内；传输机构被配置为驱动组件能够驱动连接杆带动夹取组件移动，以带动夹取组件夹取的载有晶圆的花篮在多个工艺槽体之间移动。通过将工艺腔与安装腔分隔设置，且能够实现驱动组件驱动夹取组件夹取花篮在多个工艺槽之间移动的同时，还能有效减小工艺槽内清洗液与驱动组件的接触，减少驱动组件被腐蚀的风险，另一方面，驱动组件在运动过程中由于各部件之间的摩擦产生的颗粒等不会掉落在清洗液中，从而避免对清洗液的污染，进而避免对清洗后晶圆的二次污染。
天眼查资料显示，江苏芯梦半导体设备有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4193.7032万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏芯梦半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可11个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
铂科电子冲刺港股：9个月营收7...
雷递网 雷建平 1月12日 杭州铂科电子股份有限公司（简称：“铂科电子”）日前递交招股书，准备在港交...
北京石景山一私家车占消防通道，...
新京报讯（记者张静姝）1月9日中午，北京市石景山区苹果园街道苹果园三区物业人员日常巡视时发现一辆私家...
股票行情快报：华灿光电（300...
证券之星消息，截至2026年1月12日收盘，华灿光电(300323)报收于8.8元，上涨1.62%，...
蓝箭电子最新公告：拟现金收购成...
蓝箭电子(301348.SZ)公告称，公司拟筹划以现金方式收购成都芯翼科技有限公司不低于51%的股权...
蓝箭电子：拟收购成都芯翼不低于...
人民财讯1月12日电，蓝箭电子(301348)1月12日公告，公司与洪锋明、洪锋军等成都芯翼科技有限...
惠存半导体申请BGA封装芯片测...
国家知识产权局信息显示，深圳市惠存半导体有限公司申请一项名为“一种BGA封装芯片测试工装”的专利，公...
国博电子：目前在民用通信卫星领...
新京报贝壳财经讯 1月12日，国博电子公告，从公司营收结构来看，公司有源相控阵T/R组件和系列化射频...
砸21亿加码海外：甬矽电子落子...
1月12日，甬矽电子（688362）发布公告，宣布拟投资不超过21亿元人民币，在马来西亚槟城新建集成...
国芯科技：股东国家集成电路产业...
国芯科技公告称，股东国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有公司796.46万股股份，占公司总股本比...
西昌电力：4.59MW牧光互补...
据公告，该光伏项目位于凉山州西昌市经久乡，场址地理坐标为北纬27.7619°、东经102.2207°...