拓荆科技获得发明专利授权：“吸附力检测装置、方法、存储介质及半导体加工装置”
创始人
2025-06-21 03:36:53
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“吸附力检测装置、方法、存储介质及半导体加工装置”，专利申请号为CN202211200813.6，授权日为2025年6月20日。
专利摘要：本发明提供了一种晶圆吸附力的检测装置、一种晶圆吸附力的检测方法以及一种半导体器件的加工装置。所述晶圆吸附力的检测装置包括：激光发射器，设于工艺腔室的第一侧壁的预设高度，并朝向待测晶圆被顶起的抬升路径，其中，所述预设高度是根据所述待测晶圆被顶出至脱离状态的脱离高度来确定；激光传感器，设于所述工艺腔室的第二侧壁的所述预设高度，并朝向所述激光发射器，以获取所述激光发射器发射的穿过所述抬升路径的激光；以及处理器，通信连接所述激光传感器，并被配置为：确定获取的激光随时间的波形；以及解析所述波形，以确定所述待测晶圆受到的吸附力。
今年以来拓荆科技新获得专利授权24个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。
通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目97次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息708条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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