浙江珏芯微电子申请碲镉汞红外探测器芯片制备方法专利,提升金属层的导电性效果
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2025-06-21 13:08:39
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金融界2025年6月21日消息,国家知识产权局信息显示,浙江珏芯微电子有限公司申请一项名为“一种碲镉汞红外探测器芯片的制备方法”的专利,公开号CN120187140A,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种碲镉汞红外探测器芯片的制备方法,包括步骤:提供衬底,其包括光电材料层;在光电材料层上依次形成钝化层和介质层;刻蚀所述介质层和钝化层形成通孔,暴露出所述光电材料层;在所述衬底的光电材料层一侧形成金属层,覆盖所述介质层及通孔内的光电材料层,所述金属层包括第一金属层与第二金属层的叠层结构;使用图案化的正性光刻胶覆盖所述金属层,采用ICP刻蚀设备对所述金属层进行干法刻蚀,形成图案化的金属电极;去除与所述图案化的金属电极对应位置以外的介质层,形成所述碲镉汞红外探测器芯片。

天眼查资料显示,浙江珏芯微电子有限公司,成立于2019年,位于丽水市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35131.764706万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江珏芯微电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息210条,此外企业还拥有行政许可11个。

来源:金融界

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