鹏芯微申请半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备专利，防止旋转的晶圆切向甩出的液滴反溅_电池资讯

鹏芯微申请半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备专利，防止旋转的晶圆切向甩出的液滴反溅

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2025-07-23 21:10:06

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金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备”的专利，公开号CN120347040A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，本公开涉及一种半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备，其中，半导体清洗防反溅护罩用于防止旋转的晶圆(101)切向甩出的液滴反溅且包括：罩体(1)，包括侧壁(11)，侧壁(11)呈环形且同轴环绕晶圆(101)；和防反溅组件(2)，设在罩体(1)内，防反溅组件(2)包括第一圆环板(21)、第二圆环板(22)和防反溅部件(20)，第一圆环板(21)和第二圆环板(22)均连接于侧壁(11)且沿高度方向从上至下间隔设置，防反溅部件(20)连接于第一圆环板(21)和第二圆环板(22)之间，防反溅部件(20)与侧壁(11)在罩体(1)的径向上间隔设置形成环形的容纳腔(4)，防反溅部件(20)具有供液滴进入容纳腔(4)的通道。

天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息49条，此外企业还拥有行政许可212个。

来源：金融界

企业显示信息深圳市设备护罩导体集成电路专利部件侧壁圆环板罩体晶圆环板

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