鹏芯微申请半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备专利，防止旋转的晶圆切向甩出的液滴反溅
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2025-07-23 21:10:06
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金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备”的专利，公开号CN120347040A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本公开涉及一种半导体清洗防反溅护罩及半导体清洗设备，其中，半导体清洗防反溅护罩用于防止旋转的晶圆(101)切向甩出的液滴反溅且包括：罩体(1)，包括侧壁(11)，侧壁(11)呈环形且同轴环绕晶圆(101)；和防反溅组件(2)，设在罩体(1)内，防反溅组件(2)包括第一圆环板(21)、第二圆环板(22)和防反溅部件(20)，第一圆环板(21)和第二圆环板(22)均连接于侧壁(11)且沿高度方向从上至下间隔设置，防反溅部件(20)连接于第一圆环板(21)和第二圆环板(22)之间，防反溅部件(20)与侧壁(11)在罩体(1)的径向上间隔设置形成环形的容纳腔(4)，防反溅部件(20)具有供液滴进入容纳腔(4)的通道。
天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息49条，此外企业还拥有行政许可212个。
来源：金融界
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