吉姆西半导体取得一种挡水板等专利，避免对晶圆的二次污染
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2025-07-29 01:09:48
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金融界2025年7月28日消息，国家知识产权局信息显示，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司取得一项名为“一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备”的专利，授权公告号CN223146869U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备。该挡水板沿一圆弧轨迹纵长延伸，以在挡水板的内侧形成一用于容纳晶圆的容纳空间，在挡水板的宽度方向上挡水板的半径逐渐增大或减小；挡水板的内侧表面形成有多个导流槽，每一导流槽均由挡水板的一端延伸至挡水板的另一端。如此，由于挡水板相对自身轴向呈倾斜状态，使得溅射到挡水板内侧表面上清洗液能够横向流动至导流槽内，再由于挡水板呈圆弧状，使得导流槽内的清洗液能够沿导流槽向挡水板的两端流动，从而避免了携带污渍的清洗液堆积在挡水板的内侧表面而滴落至晶圆上，进而避免了对晶圆的二次污染。
天眼查资料显示，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司，成立于2014年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本36715.6957万人民币。通过天眼查大数据分析，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司共对外投资了33家企业，参与招投标项目206次，财产线索方面有商标信息37条，专利信息227条，此外企业还拥有行政许可44个。
来源：金融界
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