盛美半导体等申请基板检测装置专利,能够及时发现基板支架上有异常的基板
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2025-07-29 10:40:10
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金融界2025年7月29日消息,国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司申请一项名为“基板检测装置”的专利,公开号CN120376446A,申请日期为2024年01月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基板检测装置,包括光照部、拍摄部、存储部、搜索部和判断部,光照部用于向包含多个基板在内的拍摄区域照射照明光,其中多个基板插入基板支架的多个保持槽中;拍摄部用于对拍摄区域进行拍摄并生成拍摄图像,拍摄图像包含表示多个基板侧面的多个像素块;存储部用于存储基准格、多个检测位和单个基板的侧面的基准宽度,其中,基准格包括搜索区和不良区,多个检测位包括为每个保持槽配置的至少两个检测位,搜索部用于在各检测位对拍摄图像位于基准格内的图像中的像素块进行搜索,并输出基准格中像素块的搜索信息;判断部用于基于搜索信息,判断多个基板在对应的保持槽的保持状态。

天眼查资料显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本44129.1188万人民币。通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目168次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息581条,此外企业还拥有行政许可32个。

盛帷半导体设备(上海)有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本70000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛帷半导体设备(上海)有限公司参与招投标项目8次,专利信息40条,此外企业还拥有行政许可79个。

来源:金融界

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