北方华创申请传感器连接结构和半导体加工设备专利，减少等离子体对传感器的腐蚀
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2025-08-01 15:12:41
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金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“传感器连接结构和半导体加工设备”的专利，公开号CN120403962A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，本发明提供了一种传感器连接结构和半导体加工设备，涉及半导体加工技术领域，以解决等离子体对例如真空规的传感器产生腐蚀的问题。传感器连接结构包括连接本体和电极组件，连接本体具有通道，通道能够连通工艺腔和传感器；电极组件包括电极，成对设置于通道中的电极用于产生电场，电场的电场强度方向与通道的延伸方向相交，电极与连接本体绝缘设置。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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