纽势达取得半导体蚀刻设备专利,确保蚀刻过程均匀性和稳定性
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2025-08-02 11:18:01
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金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,江苏纽势达新材料装备有限公司取得一项名为“一种半导体蚀刻设备”的专利,授权公告号CN223181091U,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体蚀刻设备,涉及半导体蚀刻技术领域,包括蚀刻槽和两个支撑架,两个所述支撑架底部均与蚀刻槽内腔底部固定连接,两个所述支撑架之间安装有转换机构,本实用新型通过转动架的旋转机制确保了工位间的灵活切换,一个工位在进行蚀刻操作时,另一个工位可以同时更换已完成蚀刻的晶片并装载新的晶片,这种设计缩短了停机时间,使生产过程更加连续和自动化,此外,通过传动齿轮系统的精密控制,确保了置物板在旋转过程中始终保持水平状态,避免晶片在蚀刻时发生偏移或掉落,确保了蚀刻过程的均匀性和稳定性,进而提升了产品的质量和生产的精度。

天眼查资料显示,江苏纽势达新材料装备有限公司,成立于2023年,位于淮安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏纽势达新材料装备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可4个。

来源:金融界

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