盛吉盛半导体取得整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置专利，实现静电卡盘高度可调_电池资讯

盛吉盛半导体取得整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置专利，实现静电卡盘高度可调

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2025-08-02 13:10:29

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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司取得一项名为“一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置”的专利，授权公告号CN223181116U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置，其属于半导体制造技术领域，其应用于半导体加工设备，其包括增高组件，增高组件包括设于安装平台与静电卡盘之间的上板，上板与静电卡盘可拆卸地连接；半导体加工设备具有整体式腔室主体和设于腔室主体内的安装平台，腔室主体与安装平台为一体结构，安装平台用于承载静电卡盘，整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置。本实用新型通过设置增高组件，增高组件中的上板设在安装平台与静电卡盘之间，并且上板与静电卡盘可拆卸地连接，实现静电卡盘高度可调，从而解决反应腔室内晶圆因所处射频场位置场强度不足导致工艺结果欠佳问题。

天眼查资料显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12222.0052万美元。通过天眼查大数据分析，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目48次，财产线索方面有商标信息56条，专利信息236条，此外企业还拥有行政许可10个。

来源：金融界

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