金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司取得一项名为“一种气体控制结构”的专利,授权公告号CN223176207U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本公开提供一种气体控制结构,属于半导体技术领域,气体控制结构包括:第一进气管路,所述第一进气管路上设置有第一流量控制结构,用于控制通入所述第一进气管路中的制程气体的流量;第二进气管路,所述第二进气管路上设置有第二流量控制结构,用于控制通入所述第二进气管路中的离子气体的流量;所述第一进气管路的出气口和所述第二进气管路的出气口分别与RPS装置的入口连接。
天眼查资料显示,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司专利信息12条,此外企业还拥有行政许可3个。
来源:金融界