上海稷以科技申请半导体加载腔室用易维护连接结构专利,减少载盘损坏处理工作量
创始人
2025-08-04 11:14:05
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金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“半导体加载腔室用易维护连接结构”的专利,公开号CN120402483A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明提出了一种半导体加载腔室用易维护连接结构,包括:一对支撑柱,相对设置且两者之间形成承载区域;支撑柱,其朝向承载区域的侧面均与若干载盘通过榫卯结构结合;载盘,沿支撑柱的高度方向分层排列且延伸出对应的支撑柱;每一层的两个载盘,其上表面齐平以承载同一片晶圆。

天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目87次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息122条,此外企业还拥有行政许可13个。

来源:金融界

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