苏州敏芯微电子申请惯性传感器相关专利，有助于惯性传感器小型化
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2025-08-04 20:12:48
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金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备”的专利，公开号CN120403625A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本申请涉及一种惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备，其中惯性传感器的形成方法包括：形成具有第一绝缘层的结构晶圆并与器件晶圆键合；在器件晶圆上图形化出器件结构和与器件结构相独立的导电结构；在器件晶圆背离结构晶圆的一侧键合电连接晶圆；刻蚀结构晶圆以形成第一通孔，第一绝缘层于第一通孔中露出；第一通孔的投影与导电结构的投影重叠；刻蚀于第一通孔中露出的第一绝缘层，直至露出导电结构；在第一通孔的内壁和导电结构表面沉积导电材料，形成导电层。

天眼查资料显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司，成立于2007年，位于苏州市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本5588.7596万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目27次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息498条，此外企业还拥有行政许可17个。

来源：金融界

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