自动电位滴定仪电位滴定测定混酸含量——硝酸氢氟酸
创始人
2025-08-19 16:16:37
0次
关键词：蚀刻液
行业：半导体
MT-V6自动电位滴定仪电位滴定测定混酸含量——硝酸氢氟酸
摘要
在半导体制造领域，刻蚀技术是实现微电子器件精细加工的关键步骤之一。半导体湿法刻蚀工艺，简称湿法刻蚀，是一种通过化学溶液来去除晶圆表面特定材料层的技术。这种工艺利用化学反应来精确地控制材料的形状和尺寸，以满足半导体器件的制造要求。本文主要介绍通过MT-V6自动电位滴定仪来测试硝酸/氢氟酸蚀刻液体系的含量。
仪器配置
●MT-V6电位滴定仪
●pH102电极（or锑电极）
●20mL高精度计量管
●100mL滴定杯
试剂配置
●滴定剂：氢氧化钠标准溶液
●滴定度：0.5111mol/L
测定方法
●酸碱滴定/电位滴定
●称取适量试样于烧杯中，加50mL溶剂溶解，搅拌均匀，插入电极，选用蚀刻液测试方法，用氢氧化钠标准溶液滴定到终点
仪器参数
●最小滴定体积：10μL
●最大滴定体积：100μL
●搅拌速度：200
●每滴间隔：1500ms
●终点模式：微分判定
●微分设置：200
测试数据
●环境温度：20℃
●环境湿度：46%
●测试时间：2min
测试结果：经测试，蚀刻液的硝酸浓度约为20.72%，氢氟酸浓度约为5.17%。
相关内容
热门资讯
梁志敏，严重违纪违法
据云南省纪委监委10月12日消息：日前，经云南省委批准，云南省纪委监委对云南省人大监察和司法委员会原...
惠州市贝星电子商务有限公司成立...
天眼查App显示，近日，惠州市贝星电子商务有限公司成立，法定代表人为李伟娟，注册资本1万人民币，经营...
对美芯片巨头立案调查！官方披露...
据国家市场监督管理总局今天（10月12日）消息，日前，市场监管总局反垄断二司负责人就对高通公司违反《...
美国要求塞尔维亚将俄企控股石油...
【环球网报道 记者 张江平】据彭博社11日报道，塞尔维亚总统武契奇在接受“Informer.rs”新...
长沙诺科纬智电子科技有限公司成...
天眼查App显示，近日，长沙诺科纬智电子科技有限公司成立，法定代表人为胡雷光，注册资本200万人民币...
九江莱恩电子商务有限公司成立 ...
天眼查App显示，近日，九江莱恩电子商务有限公司成立，法定代表人为龚泉明，注册资本0.1万人民币，经...
世预赛-C罗中框+失点内维斯补...
北京时间10月12日凌晨02时45分，2026年美加墨世界杯欧洲区预选赛F组第三轮在里斯本竞技体育场...
丹尼-格林：威少找不到下家 不...
10月12日消息，近日，前NBA球员丹尼-格林在个人播客节目《Inside The Green Ro...
秦淮区烁环泽电子产品经营部（个...
天眼查App显示，近日，秦淮区烁环泽电子产品经营部（个体工商户）成立，法定代表人为李梦纯，注册资本3...
石家庄杰之睿电子科技有限公司成...
天眼查App显示，近日，石家庄杰之睿电子科技有限公司成立，法定代表人为王荻，注册资本100万人民币，...