自动电位滴定仪电位滴定测定混酸含量——硝酸氢氟酸
创始人
2025-08-19 16:16:37
0次
关键词：蚀刻液
行业：半导体
MT-V6自动电位滴定仪电位滴定测定混酸含量——硝酸氢氟酸
摘要
在半导体制造领域，刻蚀技术是实现微电子器件精细加工的关键步骤之一。半导体湿法刻蚀工艺，简称湿法刻蚀，是一种通过化学溶液来去除晶圆表面特定材料层的技术。这种工艺利用化学反应来精确地控制材料的形状和尺寸，以满足半导体器件的制造要求。本文主要介绍通过MT-V6自动电位滴定仪来测试硝酸/氢氟酸蚀刻液体系的含量。
仪器配置
●MT-V6电位滴定仪
●pH102电极（or锑电极）
●20mL高精度计量管
●100mL滴定杯
试剂配置
●滴定剂：氢氧化钠标准溶液
●滴定度：0.5111mol/L
测定方法
●酸碱滴定/电位滴定
●称取适量试样于烧杯中，加50mL溶剂溶解，搅拌均匀，插入电极，选用蚀刻液测试方法，用氢氧化钠标准溶液滴定到终点
仪器参数
●最小滴定体积：10μL
●最大滴定体积：100μL
●搅拌速度：200
●每滴间隔：1500ms
●终点模式：微分判定
●微分设置：200
测试数据
●环境温度：20℃
●环境湿度：46%
●测试时间：2min
测试结果：经测试，蚀刻液的硝酸浓度约为20.72%，氢氟酸浓度约为5.17%。
相关内容
热门资讯
智能恒电位仪-传统恒电位仪：为...
2026年，阴极保护领域正在经历一场静默而彻底的更替。传统恒电位仪的存量市场加速萎缩，新建管道项目已...
爱思开海力士申请调整电源电压的...
国家知识产权局信息显示，爱思开海力士有限公司申请一项名为“调整电源电压的计算系统”的专利，公开号CN...
摩根士丹利：代理人工智能将扩大...
钛媒体App 4月20日消息，摩根士丹利表示，日益自主的人工智能可能会促进对中央处理器(CPU)的需...
双乐股份：下游客户主要为涂料、...
有投资者在互动平台向双乐股份提问：“请问公司酞菁系列颜料及铬系颜料主要供应给哪些下游客户？是否包括涂...
国标GB28181视频平台Ea...
在使用EasyGBS国标视频云平台进行视频流分发时，不少开发者或运维人员会遇到一个困扰：通过WebS...
旷达科技：参股公司芯投微滤波器...
在4月15日举行的2025年度业绩说明会上，旷达科技（002516.SZ）详细介绍了重要参股公司滤波...
奥普光电(002338)3月3...
证券之星消息，近日奥普光电披露，截至2026年3月31日公司股东户数为3.67万户，较12月31日减...