金竟科技Pharos系列电子束曝光机获北京市首台（套）重大技术装备认证
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2025-10-14 21:04:59
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近日，京津冀国家技术创新中心和同新基金联合培育的高科技企业北京金竟科技有限责任公司（简称“金竟科技”）自主研发的Pharos 310电子束曝光机正式获得北京市首台（套）重大技术装备认证，标志着该产品成为经官方权威认证的首款国产商业化电子束曝光设备。
上证报中国证券网讯（记者 李雁争）近日，京津冀国家技术创新中心和同新基金联合培育的高科技企业北京金竟科技有限责任公司（简称“金竟科技”）自主研发的Pharos 310电子束曝光机正式获得北京市首台（套）重大技术装备认证，标志着该产品成为经官方权威认证的首款国产商业化电子束曝光设备。
电子束曝光机又称电子束光刻机，广泛应用于微纳米加工、半导体器件制备等国家战略相关领域。此前，我国在该领域长期依赖进口。金竟科技推出的Pharos系列电子束曝光机打破了这一局面，为解决该领域“卡脖子”困境提供了关键支撑。
金竟科技电子束曝光机早在2023年8月就已首次实现公开中标，成为该类设备国产商业化的首个标杆。在高端装备领域，技术成熟需经过长期验证。Pharos 310不仅较早通过市场检验，还已在天津大学、北京工业大学、太原理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等多所高校和科研机构成功验收并投入使用。
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