科芯半导体装备制造产业园(一期)项目通过环评审批
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2025-10-20 18:19:22
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近日,西昌生态环境局发布了关于科芯半导体装备制造产业园(一期)项目的环评审批公示。随着环评审批的通过,科芯半导体装备制造产业园(一期)项目有望加速推进。

图片来源:西昌生态环境局审批公示截图

据悉,科芯半导体装备制造产业园(一期)项目由科芯半导体科技(凉山州)有限公司建设,项目性质为新建,选址于西昌钒钛产业园区JJ-B-06-07号地块东北侧用地,总投资高达210000万元。

项目规划建筑面积约2万平方米,旨在打造碳化硅半导体配套设备器件及零部件产品的生产基地,预计年产碳化硅半导体配套设备器件500台(套)、碳化硅零部件产品5万件。

消息显示,项目将建设两类生产线。其一为碳化硅半导体零部件产品产线,涵盖刻蚀环、静电吸盘、AR镜片基材三种产品,采用物理气相沉积工艺完成核心零部件产品沉积工序,而中段工序如切磨抛、退火等则通过外协完成。其二为碳化硅半导体配套设备器件产线,企业将自主完成产品的各部分设计、软件系统开发以及原辅材料的准备和检查,其他设备器件的组装、测试等环节同样采用外协。

科芯半导体科技(凉山州)有限公司于2024年10月14日成立,注册资本5000万人民币。公司位于四川省凉山彝族自治州,主要从事计算机、通信和其他电子设备制造业。其经营范围广泛,包括技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广,以及电子专用材料制造、电子专用设备制造、半导体器件专用设备制造、光伏设备及元器件制造等。

(文/集邦化合物半导体整理)

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