上海邦芯半导体申请自动调节PID参数方法和系统专利，快速自动找到最优PID参数
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2025-06-27 09:38:31
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金融界2025年6月27日消息，国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统”的专利，公开号CN120221470A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，一种工艺过程中自动调节PID参数的方法和系统，属于半导体加工技术领域，该方法和系统通过在一定的PID参数下循环模拟晶圆传送及工艺流程，获取在流程中调试用晶圆的温度波动情况、工艺过程中温度平均值、功率波动、及功率输出情况等工艺指标，根据工艺指标的表现对PID参数值进行自动化调节，并基于调节后的参数对调试用晶圆进行进一步循环测试，如此迭代优化，直至自动化找出最优的PID参数。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目14次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息121条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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