芯恩（青岛）集成电路有限公司取得混合管、歧管结构及半导体工艺设备专利，实现对工艺后得到的半导体结构形貌的灵活控制_电池资讯

芯恩（青岛）集成电路有限公司取得混合管、歧管结构及半导体工艺设备专利，实现对工艺后得到的半导体结构形貌的灵活控制

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2025-06-28 17:09:19

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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种混合管、歧管结构及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223035912U，申请日期为2024年06月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种混合管、歧管结构及半导体工艺设备，所述混合管包括两个以上的气流通道，所述混合管中至少围绕所述气流通道的材料为形状记忆材料。本实用新型通过设置混合管围绕通道通道的材料为形状记忆材料，使混合管的气流通道的形状可以通过操作进行改变，从而调整通道通道的末端角度，以进入进入腔室室的气流方向和气流流速，最终在不更换元件的前提下实现对工艺后得到的半导体结构形貌的灵活控制，提高了形貌控制效率以及形貌控制精度，降低了对半导体结构形貌控制的成本和更换元件带来的可靠性风险，同时有利于提高工艺后得到的半导体结构形貌均匀性和形貌质量的稳定性。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息708条，此外企业还拥有行政许可55个。

来源：金融界

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