星盛半导体取得划片机新型水幕加湿装置专利，可灵活调整喷水臂与晶圆间距
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2025-12-27 02:06:46
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国家知识产权局信息显示，海宁星盛半导体有限公司取得一项名为“一种划片机新型水幕加湿装置”的专利，授权公告号CN223719180U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及划片机技术领域，公开了一种划片机新型水幕加湿装置，包括喷水臂，所述喷水臂内部设有流道、一侧侧面设有若干与流道连通的喷水孔，所述喷水臂两端均固定连接有滑移块，所述滑移块上穿设有导柱，所述导柱远离滑移块的一端固定连接有一固定板；所述喷水臂两端的导柱的末端固定连接于同一固定板；所述滑移块上设有用于锁定滑移块和导柱相对位置的锁定机构。本实用新型的划片机新型水幕加湿装置可灵活调整喷水臂与晶圆间距，能适应对不同大小晶圆的清洗；优选方案中，可灵活控制各区域喷水孔的喷液，可灵活调控对晶圆的清洗程序。
天眼查资料显示，海宁星盛半导体有限公司，成立于2023年，位于嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本595.45万人民币。通过天眼查大数据分析，海宁星盛半导体有限公司专利信息5条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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