绍兴芯链半导体申请降低光罩基板缺陷靶材专利，可大大提高产品良率
创始人
2025-12-27 23:07:55
0次
国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于降低光罩基板缺陷的靶材及其处理方法”的专利，公开号CN121204625A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种用于降低光罩基板缺陷的靶材及其处理方法，该处理方法利用离子植入法对靶材进行处理，使得处理后的靶材的维氏硬度达1000Hv以上。包括如下步骤：S20，对真空腔体进行抽真空处理，使得真空腔体的真空度达到预设值；S30，将靶材置入真空腔体内的等离子源中，置入氩气轰击靶材表面，以去除表面的污染物及对靶材表面预热；S40，待靶材表面温度达到设定的预热温度后，停止置入氩气，更换为置入氮气与氢气，并使靶材温度维持在设定的反应温度；S50，时间达到设定值后，待靶材温度降低至室温，破真空取出处理完成的靶材。本发明处理所得的靶材的硬度可达1000及以上，采用该靶材来制光罩，缺陷少，可以大大提高产品良率。
天眼查资料显示，绍兴芯链半导体科技有限公司，成立于2022年，位于绍兴市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可11个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
卓新通讯取得具有外接电源功能的...
国家知识产权局信息显示，宁波卓新通讯接插件有限公司取得一项名为“具有外接电源功能的发光网络跳线”的专...
爱旭申请背接触电池组件及光伏系...
国家知识产权局信息显示，浙江爱旭太阳能科技有限公司、珠海富山爱旭太阳能科技有限公司、山东爱旭太阳能科...
绍兴芯链半导体申请降低光罩基板...
国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于降低光罩基板缺陷的靶材及其处...
美国给芯片加税留了18个月空窗...
12月23日，美国贸易代表办公室正式宣布将自2027年6月23日起对中国半导体产品加征关税。具体税率...
沃泰光电取得具有防护机构的超声...
国家知识产权局信息显示，杭州沃泰光电科技有限公司取得一项名为“一种具有防护机构的超声波清洗设备”的专...
联桥电子取得高导热量电路板专利...
国家知识产权局信息显示，东莞联桥电子有限公司取得一项名为“一种高导热量电路板”的专利，授权公告号CN...
尺素光电取得平台服务器组件及密...
国家知识产权局信息显示，南京尺素光电科技有限公司取得一项名为“一种平台服务器组件及密钥管理系统”的专...
富鼎电子取得定位治具专利，能实...
国家知识产权局信息显示，富鼎电子科技（嘉善）有限公司取得一项名为“定位治具”的专利，授权公告号CN2...
盛仕达电子取得防水防尘风扇接线...
国家知识产权局信息显示，深圳市盛仕达电子有限公司取得一项名为“一种防水防尘的风扇接线装置及轴流风扇”...
格蕾特取得继电器固定安装装置专...
国家知识产权局信息显示，嘉兴格蕾特智能制造有限公司取得一项名为“继电器固定安装装置”的专利，授权公告...