北方华创申请晶圆支撑装置及半导体清洗设备专利，辅助支撑件可通过第二限位槽支撑晶圆_电池资讯

北方华创申请晶圆支撑装置及半导体清洗设备专利，辅助支撑件可通过第二限位槽支撑晶圆

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2025-12-29 12:38:07

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆支撑装置及半导体清洗设备”的专利，公开号CN121215575A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请公开一种晶圆支撑装置及半导体清洗设备，属于半导体清洗技术领域。晶圆支撑装置包括晶圆支撑架和辅助支撑件，晶圆支撑架包括第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部和第二支撑部相对弯折，且第一支撑部和第二支撑部均设有用于供晶圆伸入的第一限位槽，第一支撑部的第一限位槽与第二支撑部的第一限位槽相对应，晶圆支撑架可通过第一限位槽支撑晶圆，辅助支撑件设有用于供晶圆伸入的第二限位槽，辅助支撑件位于第一支撑部和第二支撑部相互背离的至少一侧，在辅助支撑件相对晶圆支撑架运动至第一位置的情况下，第二限位槽的高度大于第一限位槽的高度，辅助支撑件可通过第二限位槽支撑晶圆。半导体清洗设备包括上述的晶圆支撑装置。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1327次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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