新凯来工业申请半导体装置专利，提升工艺套件表面温度均匀程度
创始人
2026-01-10 23:07:43
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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种半导体装置”的专利，公开号CN121310898A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种半导体装置，包括：工艺腔体；工艺套件，设置于工艺腔体内部，用于约束工艺腔体内的反应空间；加热组件，位于反应空间外周，用于加热工艺套件；以及反射壁，被配置为反射加热组件的热辐射，以将热辐射导向工艺套件。通过引入反射壁，实现了对加热组件热辐射的导向控制，提升了工艺套件表面温度均匀程度，有利于提高半导体加工质量。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息194条，此外企业还拥有行政许可14个。
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来源：市场资讯
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