富芯半导体取得用于光刻机镜头的清洁装置专利，有利于提升光刻机的光刻质量和制备良率
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2026-01-12 10:12:34
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国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司取得一项名为“一种用于光刻机镜头的清洁装置”的专利，授权公告号CN223775631U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于光刻机镜头的清洁装置，可拆卸设置于光刻机镜头上，包括清洁腔体、第一管路和排放管路；所述清洁腔体具有用于与所述光刻机镜头密封连接的端口；所述第一管路的进口用于与清洁介质储存装置连通，所述第一管路的出口与所述清洁腔体可通断连通；所述排放管路与所述清洁腔体可通断连通，且所述排放管路位于所述清洁腔体的底端。本实用新型的清洁腔体通过端口与光刻机镜头密封连接，利用第一管路向清洁腔体中通入清洁介质，有效清洁光刻机镜头表面的光阻残留和结晶，并通过设置在清洁腔体底端的排放管路将清洁介质排出，减少清洁介质残留，结构简单，清洁方便快捷，有利于提升具有该清洁装置的光刻机的光刻质量和制备良率。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息349条，此外企业还拥有行政许可27个。
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来源：市场资讯
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