德睿科仪取得VUV平行光源光刻机设备限位机构专利，电路板在曝光时曝光程度好_电池资讯

德睿科仪取得VUV平行光源光刻机设备限位机构专利，电路板在曝光时曝光程度好

创始人

2026-01-16 11:08:31

0次

国家知识产权局信息显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司取得一项名为“一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构”的专利，授权公告号CN223808630U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构，包括基座，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，基座顶端还设有第一移动机构，第一移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，承载台上设有限位机构，限位机构包括真空泵、多管接口、真空管，承载台的下部四周侧面处设有第一通孔，真空管与第一通孔连接，承载台的顶端中心处设有开口向上的凹槽，吸附平台与凹槽卡接，吸附平台的顶面设有开口向上的放置槽，放置槽的底部设有第二通孔，放置槽内连接设有微孔陶瓷板，通过设有限位机构电路板不会晃动，位置不发生偏移，进而使得电路板在曝光时，曝光程度好。

天眼查资料显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州德睿科仪仪器设备有限公司参与招投标项目16次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

显示投资机构设备通孔顶端电路板光源专利苏州德睿科仪光源光刻机基座

上一篇：联想取得数据处理方法和电子设备专利

下一篇：联想取得电子设备形态变换专利

德睿科仪取得VUV平行光源光刻机设备限位机构专利，电路板在曝光时曝光程度好

相关内容

热门资讯