德睿科仪取得VUV平行光源光刻机设备限位机构专利，电路板在曝光时曝光程度好
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2026-01-16 11:08:31
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国家知识产权局信息显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司取得一项名为“一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构”的专利，授权公告号CN223808630U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构，包括基座，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，基座顶端还设有第一移动机构，第一移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，承载台上设有限位机构，限位机构包括真空泵、多管接口、真空管，承载台的下部四周侧面处设有第一通孔，真空管与第一通孔连接，承载台的顶端中心处设有开口向上的凹槽，吸附平台与凹槽卡接，吸附平台的顶面设有开口向上的放置槽，放置槽的底部设有第二通孔，放置槽内连接设有微孔陶瓷板，通过设有限位机构电路板不会晃动，位置不发生偏移，进而使得电路板在曝光时，曝光程度好。
天眼查资料显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州德睿科仪仪器设备有限公司参与招投标项目16次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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