新凯来申请卡盘及半导体设备专利提升晶圆表面温度均匀性_电池资讯

新凯来申请卡盘及半导体设备专利提升晶圆表面温度均匀性

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2026-01-28 17:42:17

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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“卡盘及半导体设备”的专利，公开号CN121398532A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请提供一种卡盘及半导体设备。卡盘用于承载晶圆。本申请提供的卡盘能够提升在对晶圆进行加热或者散热时，晶圆表面温度的均匀性。所述卡盘包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面沿所述卡盘的厚度方向相背设置。所述卡盘包括第一区域和第二区域，所述第一区域和所述第二区域沿平行于所述第一表面方向相邻设置。所述第一区域和所述第二区域均设有气槽，所述气槽的开口位于所述第一表面，且所述气槽用于通背气。所述第一区域内的所述气槽的体积分数与所述第二区域内的所述气槽的体积分数不同。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息205条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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