埃地沃兹日本申请真空泵及异物传感器专利，可正确检测电容量变化
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2025-07-04 13:39:11
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金融界2025年7月4日消息，国家知识产权局信息显示，埃地沃兹日本有限公司申请一项名为“真空泵及异物传感器”的专利，公开号CN120265882A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，提供一种能够正确地检测电容量的变化的真空泵。具有：外筒(127)等，具有排气气体流动的排气路径；带螺纹间隔件(131)，成为由加热器(148)进行的加热的对象；基座部(129)，成为由水冷管(149)进行的冷却的对象；以及异物传感器(210)，进行异物的检测；异物传感器(210)具备电容量能够因异物的堆积而变化的一对电极和进行电极间的电容量的计测的电容量计测部；将电极配设在带螺纹间隔件(131)，将电容量计测部配设在基座部(129)。
来源：金融界
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