半水科技申请金属化真空传感器及制备工艺专利,测量不同介质时测量值不受影响
创始人
2026-02-16 11:12:43
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国家知识产权局信息显示,半水科技(厦门)有限公司申请一项名为“一种金属化的真空传感器以及制备工艺”的专利,公开号CN121521347A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种金属化的真空传感器,包括第一硅片、金属化玻璃片、第二硅片以及金属电极,所述第二硅片、金属化玻璃片以及第二硅片依次设置;所述金属电极设置于第一硅片表面,所述第二硅片靠近玻璃层一侧表面具有电容腔,且另一侧表面具有参考腔;所述金属化玻璃片包括玻璃层以及设置于玻璃层上的金属层,所述金属层与金属电极分别位于玻璃层的两表面;该真空传感器还具有连通金属层和金属电极的连接部。本发明的真空传感器通过将电容腔和介质腔分离,测量不同介质时,测量值不受影响;本发明还提供一种的金属化的真空传感器制备工艺。

天眼查资料显示,半水科技(厦门)有限公司,成立于2022年,位于厦门市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,半水科技(厦门)有限公司参与招投标项目1次,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可3个。

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来源:市场资讯

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