正行电子取得PVD载板加热装置专利，延长PVD载板的使用寿命
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2026-03-02 17:14:40
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国家知识产权局信息显示，昆山市正行电子科技有限公司取得一项名为“一种PVD载板加热装置”的专利，授权公告号CN223951160U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种PVD载板加热装置，包括箱体，所述箱体的前侧转动连接有箱门，所述箱体的内部设置有加热结构，所述箱体的外侧固定连接有冷却结构，所述冷却结构包括气泵一，所述气泵一固定连接在箱体的后侧，所述气泵一和箱体之间固定连接有气管一，所述箱体的上侧固定连接有气箱和冷却箱，所述气泵一和气箱之间固定连接有气管二，所述箱体的右侧固定连接有气泵二。与现有技术相比，冷却结构、真空泵、管道、箱体、箱门的设置，让干净的冷空气装进气箱，然后被循环利用冷却加热后的PVD载板，防止发生直接使用外界冷空气造成PVD载板被外界冷气中的杂质损害的情况，延长PVD载板的使用寿命。
天眼查资料显示，昆山市正行电子科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山市正行电子科技有限公司专利信息22条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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