上海华力申请半导体测试结构及其制造方法专利，实现了对刻蚀工艺的快速、低成本和高精度验证
创始人
2026-03-05 00:40:09
0次
国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体测试结构及其制造方法”的专利，公开号CN121604786A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体测试结构及其制造方法。该半导体测试结构包括：半导体衬底、设置在其上的介电层、形成于介电层中并暴露出衬底的通孔、形成在通孔底部的金属半导体化合物层、以及填充在通孔内的导电填充材料。该制造方法包括：提供半导体衬底；形成含通孔的介电层；在通孔内通过注入、沉积金属材料和退火来形成金属半导体化合物层；填充导电材料；并利用电子束检测通孔状态。本发明通过在短流程测试中构建能够模拟接触过有源栅极(COAG)工艺中通孔界面的测试结构，并形成低阻的金属半导体化合物层，解决了电子束检测因高接触电阻产生噪声而无法准确监控通孔开口缺陷的问题，实现了对刻蚀工艺的快速、低成本和高精度验证，缩短了研发周期。
天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2082次，专利信息2753条，此外企业还拥有行政许可397个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
晟楠科技今日收涨8.79%：江...
3月4日，北交所上市公司晟楠科技（920006）上涨，收盘价为29.57元/股，涨幅8.79%。 同...
玄戒O2稳了！采用台积电3nm...
快科技3月4日消息，小米集团总裁卢伟冰在接受采访时透露，小米芯片、操作系统以及自研AI大模型将在今年...
上海华力申请半导体测试结构及其...
国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体测试结构及其制造方法”的专利...
苹果把iPhone芯片塞进Ma...
去年传出苹果要把 iPhone 的芯片放进 的消息时，不止果粉被震惊到了，就连 PC 行业也着实震动...
最强Air！全新iPad Ai...
快科技3月4日消息，苹果官方网站显示，新款iPad Air已正式开启预售，并将于3月11日迎来正式发...
萍乡市惠通申请开关控制设备高压...
国家知识产权局信息显示，萍乡市惠通电瓷电气有限公司申请一项名为“一种开关控制设备高压瓷绝缘子组装设备...
对标苹果三星！小米官宣自研So...
小米正加速向高端技术领域迈进，在芯片自研与AI布局两条战线同步发力。 小米总裁卢伟冰周二接受CNBC...
南方电网科学研究院申请电压源型...
国家知识产权局信息显示，南方电网科学研究院有限责任公司;华北电力大学申请一项名为“一种电压源型换流器...
2026年山东发电机租赁推荐厂...
当前建筑施工、商业运营、应急保障等场景对发电机租赁的需求愈发精细化，功率适配、应急响应、节能稳定等核...
上海叠铖光电申请盲元像素补偿装...
国家知识产权局信息显示，上海叠铖光电科技有限公司申请一项名为“一种盲元像素补偿的装置及红外成像装置”...