ASML申请超导线圈组件和致动器系统专利，超导线圈被分组成能够分离且离散的多个模块
创始人
2026-03-06 18:10:59
0次
国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“超导线圈组件和致动器系统”的专利，公开号CN121620732A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，一种光刻设备，包括：图案形成装置；第一定位器，所述第一定位器用于定位图案形成装置支撑件；衬底支撑件；第二定位器，第二定位器用于定位衬底支撑件；以及投影系统，投影系统被配置成将辐射束从图案形成装置投影至衬底上，其中，图案形成装置支撑件、第一定位器、衬底支撑件和/或第二定位器在使用期间具有被配置成产生磁场的多个超导线圈，其中，所述多个超导线圈被分组成能够分离且离散的多个模块，所述多个模块在被组装时形成组件，每个模块包括所述多个线圈的一个或更多个线圈的子集且包括用于向一个或更多个线圈的所述子集提供电力的电气接口和用于为一个或更多个线圈的所述子集的超导性提供冷却的冷却接口。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
长城汽车获得发明专利授权：“车...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长城汽车（601633）新获得一项发明专利授权，专利名为“车辆...
信维通信获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示信维通信（300136）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
海信视像获得发明专利授权：“电...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海信视像（600060）新获得一项发明专利授权，专利名为“电源...
股票行情快报：商络电子（300...
证券之星消息，截至2026年3月6日收盘，商络电子(300975)报收于15.49元，上涨1.97%...
极海微电子取得盒芯片、耗材盒专...
国家知识产权局信息显示，极海微电子股份有限公司取得一项名为“一种盒芯片、耗材盒”的专利，授权公告号C...
研祥取得环路热管散热装置专利，...
国家知识产权局信息显示，研祥智慧物联科技有限公司取得一项名为“环路热管散热装置”的专利，授权公告号C...
小米申请天线模组和电子设备专利...
国家知识产权局信息显示，北京小米移动软件有限公司申请一项名为“天线模组和电子设备”的专利，公开号CN...
华软科技拟3.24亿元收购莱恩...
北京商报讯（记者 王蔓蕾）3月6日晚间，华软科技（002453）披露公告称，公司拟3.24亿元收购山...
车仪田申请光学传感器及光谱检测...
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备...
荣耀取得一种拍照方法、电子设备...
国家知识产权局信息显示，荣耀终端股份有限公司取得一项名为“一种拍照方法、电子设备和存储介质”的专利，...