车仪田申请光学传感器及光谱检测系统专利，提高测量结果的实时性和准确性
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2026-03-06 23:15:00
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国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121612864A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本申请涉及一种光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备，该传感器包括：自等离子体腔，包括腔室、置于腔室外的线圈，腔室的相对两个侧壁上连通设有供被测气体流通的进气管和出气管，腔室的侧壁上还设有检测口，且检测口与进气管、出气管均位于不同侧壁上，线圈用于与射频电源相连，以对腔室中的被测气体形成等离子体并产生辉光放电；检测管，检测管的一端与腔室相连且与检测口相通，检测管的另一端封闭且设有透光的检测窗，检测管内设有连通两端的阶梯通道且阶梯通道的内径由一端向另一端侧减小。本申请可与半导体设备的排气管连通，及时响应于半导体工艺设备内的反应变化，减少测试延迟，提高测量结果的实时性和准确性。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息90条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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