南智先进光电申请薄膜铌酸锂条带电极精细对准方法专利,保证局部两点对准精度达标
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2026-03-10 18:38:58
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国家知识产权局信息显示,南京南智先进光电集成技术研究院有限公司申请一项名为“面向高速调制器的薄膜铌酸锂条带电极精细对准方法”的专利,公开号CN121634737A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,一种面向高速调制器的薄膜铌酸锂条带电极精细对准方法,该方法包括:获取待测的目标波导的像素坐标,并根据设备标定参数确定各采样点的物理坐标,以生成波导连续偏移曲线。将目标波导划分为多个波导区间,并计算各波导区间的目标偏移坐标,以构建分段式参考框架。基于分段式参考框架,在各波导区间执行电极分段光刻对准,生成电极预对准中心线。根据电极预对准中心线确定分段沉积窗口,并对分段沉积窗口进行连续拼接修正,得到电极中心线。在电极中心线与目标波导的波导长度一致时,输出对准结构。本发明不仅能够保证局部两点对准精度达标,而且进一步避免了长距离上出现电极中心线与波导不保持严格平行的情况。

天眼查资料显示,南京南智先进光电集成技术研究院有限公司,成立于2018年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1310.6316万人民币。通过天眼查大数据分析,南京南智先进光电集成技术研究院有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目35次,财产线索方面有商标信息17条,专利信息122条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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