青岛赛尔科技申请半导体晶圆背靠背倒片装置专利，实现硅片从顺序排列调整至背靠背交叉排列
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2026-03-14 23:33:09
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国家知识产权局信息显示，青岛赛尔科技有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆背靠背倒片装置”的专利，公开号CN121665998A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体晶圆加工领域，且公开了一种半导体晶圆背靠背倒片装置，包括工作台，所述工作台的顶端设置有花篮本体和晶舟本体，花篮本体的底部设置有花篮旋转升降模块，晶舟本体的底部设置有晶舟移动升降模块，工作台的上方设置有变距机头模块，变距机头模块包括机头机架，机头机架顶部设置为H型安装架，H型安装架的两侧内侧壁上对称设置有两组上变距模组以及两组下变距模组，同一侧的上变距模组位于下变距模组上方，本发明，通过两个上变距模组与两个下变距模组分别能够实现十二片硅片夹持以及十三片硅片夹持，同时花篮本体能够在梳子升降组件驱动下转动，实现将硅片从花篮本体转移至晶舟本体时，从顺序排列调整至背靠背交叉排列。
天眼查资料显示，青岛赛尔科技有限公司，成立于2021年，位于青岛市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1600万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛赛尔科技有限公司参与招投标项目19次，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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