中微半导体取得升降驱动组件和半导体工艺设备专利，减少驱动机构占用的下电极下方空间_电池资讯

中微半导体取得升降驱动组件和半导体工艺设备专利，减少驱动机构占用的下电极下方空间

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2026-03-22 03:20:26

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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种升降驱动组件和半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN224020732U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种升降驱动组件和半导体工艺设备。升降驱动组件包括固定筒、活动筒、活动架和驱动机构。固定筒连接于反应腔的底部，固定筒上设有贯穿筒壁的第一导向槽；活动筒套接于固定筒，活动筒上设有贯穿筒壁的第二导向槽；活动架用于与下电极连接，活动架上设有驱动轴，驱动轴穿过第一导向槽并嵌入第二导向槽中；驱动机构用于驱动活动筒相对固定筒枢转；通过第二导向槽和第一导向槽的配合将驱动机构的枢转输出转化为活动架的竖直方向移动。本实用新型的升降驱动组件和半导体工艺设备，通过驱动机构驱动活动筒旋转，通过活动筒和固定桶的配合将旋转运动转化为活动架的竖直方向运动，减少驱动机构占用的下电极下方空间。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1653条，此外企业还拥有行政许可77个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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