国家知识产权局信息显示,福建省晋华集成电路有限公司申请一项名为“半导体存储器结构及制备方法”的专利,公开号CN122028720A,申请日期为2022年4月。
专利摘要显示,本申请公开一种半导体存储器结构及制备方法,能够消除沟槽填充多种材料层的过程中出现的凹槽,提高半导体存储器的良率。半导体存储器结构包括:衬底;位于衬底上表面的至少一个第一沟槽;第一介电层,沿第一沟槽的内壁分布;第二介电层,位于第一介电层的表面,并填充第一沟槽;第一介电层的顶部低于第二介电层的顶部和衬底的上表面,使第二介电层和衬底之间形成有第一凹槽;第四介电层,覆盖于第一凹槽内壁,且填充第一凹槽的部分空间,第四介电层还覆盖于第二介电层上;负载堆叠结构,位于第四介电层上且位于第二介电层的顶部上方。
天眼查资料显示,福建省晋华集成电路有限公司,成立于2016年,位于泉州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3447733.068816万人民币。通过天眼查大数据分析,福建省晋华集成电路有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目558次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息1011条,此外企业还拥有行政许可84个。
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来源:市场资讯
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