三星显示申请显示装置的制造装置及电子装置的制造装置专利,能够检查工艺部
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2026-08-15 15:49:12
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国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“显示装置的制造装置及电子装置的制造装置”的专利,公开号CN122579870A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明的一实施例公开显示装置的制造装置及电子装置的制造装置。显示装置的制造装置包括:工艺部,用于执行将沉积物质沉积到显示基板的工艺;移送部,用于将所述显示基板搬入所述工艺部,或者将所述显示基板从工艺部搬出;和检查部,用于检查所述工艺部,所述工艺部包括:沉积腔室;静电夹盘,布置在所述沉积腔室的内部并用于固定所述显示基板;沉积源,布置在所述沉积腔室的内部并用于朝所述显示基板喷射所述沉积物质;和掩模组件,在位于所述沉积腔室的内部的沉积位置与所述移送部之间能够移动,并且具备使所述沉积物质穿过的开口,所述检查部在所述沉积位置与所述移送部之间能够移动,并且包括用于对所述静电夹盘进行扫描的扫描部。

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来源:市场资讯

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