北方华创申请旋转基座和半导体设备专利，能够准确检测基座转速
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2026-08-18 18:35:49
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“旋转基座和半导体设备”的专利，公开号CN122602827A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本申请公开了一种旋转基座和半导体设备，该旋转基座包括：承载座，用于承载晶圆；支撑轴，位于承载座的下方且与其同轴连接；检测部，与支撑轴固定设置，包括绕支撑轴的轴线依次设置的至少两个检测区，相同温度下相邻检测区的辐射能量值不同；探测器，位于检测部外的预设检测位置，用于对各检测区的辐射能量值进行检测；控制器，与探测器连接，用于根据探测器检测到的不同的辐射能量值的循环周期计算支撑轴的转速；驱动组件，用于驱动支撑轴带动承载座和检测部进行同步转动，并根据控制器反馈的转速调整支撑轴的转速。该旋转基座可以适用于全工艺过程的碳化硅外延设备中，能够准确检测基座转速，以便于对其进行稳定控制，保证优良工艺结果。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1479次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5900条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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