盛美半导体等申请高温炉管设备专利，提高了高温炉管设备的产能_电池资讯

盛美半导体等申请高温炉管设备专利，提高了高温炉管设备的产能

创始人

2025-07-12 10:11:33

0次

金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“高温炉管设备”的专利，公开号CN120300035A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，本申请揭示了一种高温炉管设备，包括机械手臂和晶舟，其中，晶舟包括支撑架和与支撑架连接的多层支撑平板，多层支撑平板沿支撑架的长度方向间隔分布，每层支撑平板用于托住一片基板，每层支撑平板上设置有至少一个导槽；机械手臂上设置有用于取放基板的至少一个指部，指部与导槽对应，在机械手臂对基板进行取放状态下，机械手臂与支撑平板在竖直方向上的投影没有重叠部分，以使得机械手臂上的指部能够在竖直方向上穿过支撑平板上的导槽以将基板进行取放。本申请中的支撑平板几乎能托住基板的整个底部，解决基板的高温形变问题，指部在取放基板时能够贯穿导槽，占用空间小，可以在晶舟中设置更多的支撑平板，提高了高温炉管设备的产能。

天眼查资料显示，盛美半导体设备(上海)股份有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本44129.1188万人民币。通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目167次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息572条，此外企业还拥有行政许可30个。

盛帷半导体设备（上海）有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本70000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛帷半导体设备（上海）有限公司参与招投标项目8次，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可79个。

来源：金融界

企业上海晶舟平板提高了设备手臂导体盛美专利炉管导槽指部基板

上一篇：郑州最高温可达44℃！河南今起迎持续性高温闷热天气

下一篇：上海千百亦取得一种不锈钢半导体级洁净处理装置专利，提高装置的工作效率优化装置的使用体验

盛美半导体等申请高温炉管设备专利，提高了高温炉管设备的产能

相关内容

热门资讯