北方华创申请半导体工艺设备专利，提高了对不同尺寸晶圆的兼容性
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2025-07-23 12:40:00
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金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN120356842A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备，包括相连接的第一腔室和第二腔室，第一腔室能够分别对具有第一预设直径的第一晶圆和具有第二预设直径的第二晶圆进行工艺处理，第一预设直径小于第二预设直径；第二腔室用于分别向第一腔室提供第一工艺辅助件和第二工艺辅助件，第一工艺辅助件具有贯穿其厚度的第一容置孔，第一容置孔用于容置第一晶圆；第二工艺辅助件具有贯穿其厚度且孔径大于第一容置孔孔径的第二容置孔，第二容置孔用于容置第二晶圆。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1095次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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