罗伯特·博世申请微机电系统单元以及电容式压力传感器专利，有助于消除或缓解外部环境的变化对电容式压力传感器的不利影响
创始人
2025-06-21 16:37:32
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金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电系统单元以及电容式压力传感器”的专利，公开号CN120172340A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本公开的实施例提供一种MEMS单元以及电容式压力传感器。该MEMS单元包括：壳体，包括彼此相对的第一壁部和第二壁部、以及位于第一壁部和第二壁部之间的腔体，第一壁部适于在来自外部环境的压力下在朝向第二壁部的第一方向上发生形变；至少一个第一电极板，被布置为从第一壁部延伸到腔体中，并且适于电连接到第一电位；以及至少一个第二电极板，被布置为从第二壁部延伸到腔体中，并且适于电连接到不同于第一电位的第二电位，至少一个第二电极板在第二方向和与第二方向相反的方向中的至少一个方向上与至少一个第一电极板分隔以形成至少一个电容，第二方向与第一方向相交。

来源：金融界

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