华菱电子申请电阻薄膜的制备方法专利，达成电阻薄膜厚度不变的前提下、电阻薄膜的方阻数倍变化的效果
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2025-07-29 10:39:55
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金融界2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，山东华菱电子股份有限公司申请一项名为“电阻薄膜的制备方法”的专利，公开号CN120366716A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电阻薄膜的制备方法：在磁控溅射设备内设置有两极直流脉冲电源，具有两个输出极性相反且占空比分别可调整的双极性直流脉冲的输出端。两个输出端分别连接两支由金属和陶瓷材料组成的电阻率不同的靶材，制备方阻较高的电阻薄膜时，与电阻率较高的靶材相连接的输出端的负极性直流脉冲的占空比相对较高，制备方阻较低的电阻薄膜时，与电阻率较低的靶材相连接的输出端的负极性直流脉冲的占空比相对较高。通过精确控制直流脉冲的占空比，可以达成电阻薄膜厚度不变的前提下、电阻薄膜的方阻数倍变化的效果。
天眼查资料显示，山东华菱电子股份有限公司，成立于1995年，位于威海市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本9560万人民币。通过天眼查大数据分析，山东华菱电子股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息432条，此外企业还拥有行政许可24个。
来源：金融界
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