北方华创申请半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备专利，实现晶圆均匀刻蚀
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2025-08-02 17:14:21
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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120413465A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供了半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备；其中，在该方法中，首先获取工艺任务的工艺配置信息，并根据工艺配置信息生成工艺路径；然后控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，直至完成工艺任务。上述控制方式中，对于工艺任务，通过控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，并在每次循环中对晶圆进行旋转刻蚀，从而实现了晶圆均匀刻蚀，提高了晶圆的工艺加工质量；此外，通过工艺路径还实现了半导体工艺设备连续自动执行工艺任务，从而提高了半导体工艺设备的产能。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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