蔚来汽车申请MEMS电容式加速度计及其制造方法专利，提升了线性度和灵敏度
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2025-08-06 17:12:56
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金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，合肥工业大学;蔚来汽车科技（安徽）有限公司申请一项名为“一种MEMS电容式加速度计及其制造方法”的专利，公开号CN120427938A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS电容式加速度计，包括盖板、结构层和衬底，结构层包括固定边框和质量块，固定边框中部开设有加速度释放槽一，质量块可沿加速度释放槽一进行X轴和Y轴方向的位移，固定边框通过四边夹合封装设在盖板和衬底之间；质量块包括对应四角且沿左下角开始逆时针方法依次设置的检测单元一、检测单元二、检测单元三和检测单元四，检测单元一和检测单元二、检测单元三和检测单元四分别沿Y轴对称构成X轴加速度检测差分结构，检测单元一和检测单元四、检测单元二和检测单元三分别沿X轴对称构成Y轴加速度检测差分结构。本发明设计了差分式定齿偏置检测结构，在提升了线性度和灵敏度的同时，消除了非敏感轴造成的干扰减小了交叉耦合度。
来源：金融界
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