华信科瑞光电申请片上全光开关及其制备方法专利，实现片上全光开关的智能化制备
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2025-08-16 16:45:48
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金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，长春市华信科瑞光电技术有限公司申请一项名为“片上全光开关及其制备方法”的专利，公开号CN120491369A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请涉及智能制造领域，具体公开了一种片上全光开关及其制备方法，其通过实时监测激光干涉信号来获取当前蚀刻速率与累积深度，建立实时的工艺状态反馈。随后，该实时状态被送入一个基于速率剖面配方的PID控制回路，通过与目标速率进行比较，动态调整刻蚀功率。然而，为根除工艺波动和测量误差带来的深层不确定性，进一步PID控制前，智能地分析当前蚀刻速率与PID增益参数之间的复杂内在关联，并生成一个后馈调节前置响应编码向量，进而解码出对累积蚀刻深度的校正因子。这种前置性的智能校正，确保了PID控制器始终基于最准确的状态信息和最优化的目标进行决策。进而，实现片上全光开关的智能化制备。
天眼查资料显示，长春市华信科瑞光电技术有限公司，成立于2018年，位于长春市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2868.35万人民币。通过天眼查大数据分析，长春市华信科瑞光电技术有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可5个。
来源：金融界
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