神威电气申请半导体烘干设备专利 各腔室布局合理保证充分换热
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2025-08-18 19:19:30
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金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，浙江神威电气有限公司申请一项名为“一种半导体烘干设备”的专利，公开号CN120488650A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体烘干设备，涉及半导体生产技术领域，包括机箱，所述机箱内腔由第一隔板组件分隔出送风腔室与电气腔室；所述送风腔室由第二隔板组件分隔出内循环腔室与外循环腔室，所述内循环腔室分布于外循环腔室与电气腔室之间，且内循环腔室的容积大于外循环腔室的容积。本发明通过内循环腔室和外循环腔室的设置，各腔室布局合理，保证内循环腔室有足够大的空间实现充分换热，整体结构紧凑；夹装组件结构设置合理，能够保证两个导热板与半导体制冷片有效接触，提高换热效率，且装配维护便捷。
来源：金融界
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