格力电器获得发明专利授权：“半导体刻蚀监测方法、装置、设备和存储介质”_电池知识

格力电器获得发明专利授权：“半导体刻蚀监测方法、装置、设备和存储介质”

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2025-10-01 05:04:31

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示格力电器（000651）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体刻蚀监测方法、装置、设备和存储介质”，专利申请号为CN202411477514.6，授权日为2025年9月30日。

专利摘要：本发明实施例涉及半导体刻蚀领域，公开了一种半导体刻蚀监测方法、装置、设备和存储介质，包括：确定晶圆的光谱图像数据中每一像素点的光谱向量；选取刻蚀层一像素点确定为第一基准像素点，且确定第一基准像素点对应的光谱向量为第一基准向量；将光谱图像数据中每一像素点的光谱向量与第一基准向量进行相似度对比，确定光谱图像数据中刻蚀层与终止层的分布区域；针对终止层的分布区域，从多个光谱波段中选取符合预设条件的光谱波段范围确定为终止层的特征谱段；基于终止层的特征谱段，对待刻蚀晶圆的刻蚀终点进行监测。本申请解决了在实际工艺中造成刻蚀终点监测不准的问题，根据终止层的特征谱段对刻蚀终点监测，提高刻蚀终点监测的准确性。

今年以来格力电器新获得专利授权5966个，较去年同期增加了14.77%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了39.18亿元，同比增10.92%。

通过天眼查大数据分析，珠海格力电器股份有限公司共对外投资了101家企业，参与招投标项目30986次；财产线索方面有商标信息8172条，专利信息116624条，著作权信息297条；此外企业还拥有行政许可842个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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