敏芯股份“一种MEMS传感器及电子设备”专利获授权
创始人
2025-11-06 06:06:20
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天眼查APP显示，近日，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请的“一种MEMS传感器及电子设备”专利获授权。摘要显示，本申请涉及一种MEMS传感器及电子设备，其中MEMS传感器包括开设有背腔的基底和第一检测单元。第一检测单元包括依次层叠设置的第一绝缘膜、第一电极层、第二绝缘膜以及第一支撑柱。第一电极层上间隔开设第一镂空槽；第一支撑柱穿过对应的第一镂空槽，且两端分别与第一电极层两侧的绝缘膜连接；其中，各第一支撑柱的两端之间设有第一电极部，第一电极部的侧壁与对应的第一镂空槽的内壁之间具有间距，并共同构成了检测电容。本申请将机械灵敏度与电学灵敏度解耦，在第一电极层开设多个第一镂空槽，并与对应第一支撑柱形成检测电容阵列并联/差分输出，抑制了大挠度和复杂载荷下高阶畸变，实现宽动态范围内高灵敏度、高线性及长期可靠性。
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