北方华创新取得载舟装置及半导体工艺设备专利，避免弹性套管被腔室盖压溃而导致无法施力的情况出现
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2025-06-26 19:09:48
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金融界2025年6月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“载舟装置及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223016966U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种载舟装置及半导体工艺设备，其中，载舟装置包括固定座(11)、腔室盖(20)、承载件(30)、弹性套管(40)和限位机构(50)；承载件(30)的第一端穿过腔室盖(20)而伸至腔室盖(20)的外侧，并与固定座(11)相连，弹性套管(40)套设于承载件(30)之外，弹性套管(40)的第一端口和第二端口分别与腔室盖(20)的外侧表面和固定座(11)密封配合，限位机构(50)包括支撑轴(51)和关节轴承(52)，支撑轴(51)的第一端与固定座(11)相连，支撑轴(51)的第二端通过关节轴承(52)与腔室盖(20)活动相连。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1073次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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