中微公司获得发明专利授权：“一种基座温度控制系统、控制方法及半导体处理设备”_电池知识

中微公司获得发明专利授权：“一种基座温度控制系统、控制方法及半导体处理设备”

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2025-11-13 03:36:25

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基座温度控制系统、控制方法及半导体处理设备”，专利申请号为CN202310981119.0，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本发明公开一种基座温度控制系统、控制方法及半导体处理设备，所述控制方法包括：将具有第一工艺温度的第一冷却液通过第一冷却循环回路输送至冷却通道，以对基片的温度进行调控，同时将第二冷却液的温度调节至第二工艺温度，并使第二冷却液在不经过冷却通道的第二自循环回路中流动；将具有第二工艺温度的第二冷却液通过第二冷却循环回路输送至冷却通道，以对基片的温度进行调控，同时将第一冷却液的温度调节至第三工艺温度，并使第一冷却液在不经过冷却通道的第一自循环回路中流动。本发明将具有不同温度的第一冷却液和具有不同温度的第二冷却液交替输送至冷却通道，使得基片的温度在至少三个不相同的温度间级联变换，从而满足基片的变温需求。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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