屹唐半导体申请半导体工件传输设备专利，利于提升半导体工件的良率
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2025-06-28 11:09:39
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“半导体工件的传输设备”的专利，公开号CN120221480A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本公开提供了一种半导体工件的传输设备，涉及半导体设备技术领域。半导体工件的传输设备，包括：化学过滤器，用于对气体进行过滤；第一加热装置，设置在化学过滤器的输出侧，用于对气体进行加热；第二加热装置，设置在第一加热装置背离第一加热装置的一侧，用于对气体进行暂存；进风机，设置在第二加热装置背离第一加热装置的一侧，用于输送气体；第一颗粒过滤器，设置在进风机背离第二加热装置的一侧；腔室，包括传输腔、仓储腔中的至少一个，设置在第一颗粒过滤器背离第二加热装置的一侧；腔室中具有检测区；第一检测装置，设置在检测区，用于检测检测区的温度和/或湿度。
天眼查资料显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司，成立于2015年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本266000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目174次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息221条，此外企业还拥有行政许可87个。
来源：金融界
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