北方集成电路创新中心申请一种进气装置专利，实现气体向反应腔的均匀分散
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2025-12-06 17:07:00
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“一种进气装置”的专利，公开号CN121065668A，申请日期为2024年6月。专利摘要显示，本申请提供一种进气装置，用于沉积设备，包括：进气头主体，所述进气头主体为空腔结构，所述进气头主体的第一端面设置有贯穿所述第一端面的多个出气孔；以及第一气体分散部，位于所述进气头主体内部，所述第一气体分散部包括第一进气部、第一抽气部以及分别与所述第一进气部、所述第一抽气部连通的多个第一分散管路，多个所述第一分散管路分别与所述进气头主体同轴设置且与多个所述出气孔连通，用于对第一气体进行导流；多个所述第一分散管路并联连接至所述第一进气部，以及多个所述第一分散管路并联连接至所述第一抽气部。本申请提供的进气装置可以实现气体向反应腔的均匀分散。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息438条，此外企业还拥有行政许可125个。
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来源：市场资讯
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